주성엔지니어링, 화학증착장치 기술력 차별화

 

■반도체ㆍ디스플레이 장비
주성엔지니어링(대표 황철주)은 1995년 창립이래 기술장벽이 높은 태양전지 및 반도체 디스플레이 전공정 핵심 장치의 국산화에 성공한 대표 장비기업이다. 반도체와 디스플레이 장치 산업의 핵심기술이라고 할 수 있는 CVD(화학증착장치) 분야에서 차별화된 기술력을 바탕으로 성공적으로 시장에 뿌리내렸다.

반도체 장비 부문에서 원자층 증착장치와 저압화학증착장치, 고밀도플라즈마증착장비, 건식 식각장치 등 다양한 제품 포트폴리오를 보유, 현재 국내 및 전세계 주요 고객들에게 공급하고 있다.

이 가운데 특히 원자층 증착장치의 일종인 공간 분할 화학증착 장치(SD CVD)는 기존 장치가 갖고 있던 생산성 문제를 해결하고 보다 고품질의 박막을 증착할 수 있다. 주성의 SDCVD(ALD)는 탁월한 막 품질뿐 아니라 200㎜ 또는 300㎜ 웨이퍼 5장을 동시에 처리할 수 있는 세미 배치 타입으로 설계돼 기존 설비의 낮은 생산성 한계를 극복했다는 평가다. 싱글 타입보다 3~4배 이상의 생산성을 보유, 현재 국내 주요 반도체 양산라인과 대만, 일본, 유럽, 미국 등의 주요 반도체 회사에 공급되어 성공적인 양산 성과를 내고 있다.

주성은 반도체용 장비의 기술력을 바탕으로 1999년 LCD용 PECVD장치 개발을 시작해 2002년 양산 공급에 성공하는 등 액정화면 분야 플라즈마화학증착 장비에서도 강세를 보였다.

대당 100억원이 넘는 고가의 장비를 미국 장비업체가 독점하고 있던 상황에서 회사는 2002년 5세대 LCD생산라인에 PECVD 장비 공급을 시작해, 국내 업체에 6∼8세대용 관련 장비공급과 대만 및 중국 TFT LCD 관련업체로도 장비 수출을 활발히 진행하고 있다.

현재는 11세대 등 차세대 LCD공정에 대응하는 장비 개발을 추진하며 차세대 기술발전에 대비한 차세대 TFT LCD제품 연구활동 또한 적극적으로 진행하고 있다.

반도체와 LCD에서 확보한 장비기술력을 바탕으로 2006년도에 주성은 차세대 에너지로 떠오르는 태양전지 장비사업도 진출해 한국철강에 턴키방식으로 공급했고, 중국과 인도로 시스템을 수출하는 등 실적을 내고 있다. 차세대 디스플레이인 유기발광다이오드(OLED)와 차세대 광원인 발광다이오드(LED) 장비 등도 개발하는 등 장비분야의 대표 업체로 세계시장에서 국산장비의 저력을 보여주고 있다.